一、方案概述
随着半导体产业的蓬勃发展，对半导体器件的参数测试需求日益增长。本方案集高精度测量、多功能测试、便捷操作与高效分析于一体，旨在为半导体研发、生产及质量控制提供全面支持。
二、设计目标
1. 高精度测量：确保对半导体器件的电压、电流、电阻、电容等参数进行精确测量。
2. 多功能测试：支持I-V特性、C-V特性、击穿电压、漏电流、跨导、阈值电压等多项参数测试。
3. 便捷操作：提供友好的用户界面和自动化测试流程，降低操作难度，提高测试效率。
4. 高效分析：内置数据分析工具，支持实时数据处理、图形显示与报告生成。
三、核心设备与技术参数
1. 半导体参数仪主机
· 型号：WS-SPT系列(可根据需求定制)
· 测量范围：
· 电压测量：±1mV至±300V(可扩展)
· 电流测量：100pA至100mA(可扩展至更高电流)
· 电阻测量：0.01Ω至10GΩ
· 电容测量：1fF至100μF
· 分辨率：电压1μV，电流10pA，电阻0.01Ω，电容1fF
· 准确度：±(0.02%读数+0.005%量程)(具体数值根据量程和配置而定)
· 测试速度：最高可达1000点/秒(取决于测试模式与配置)
2. 测试模块与配件
· I-V测试模块：支持直流I-V特性测试，包括线性扫描、对数扫描、脉冲测试等。
· C-V测试模块：支持高频C-V特性测试，频率范围1kHz至10MHz，适用于MOSFET、MIS电容等器件的测试。
· 高低温测试模块：可选配高低温测试箱，实现-55℃至+250℃温度范围内的器件测试。
· 探针台与夹具：提供多种规格的探针台与夹具，满足不同尺寸与封装形式的器件测试需求。
3. 软件系统
· 操作界面：采用直观易用的图形化界面，支持多语言切换。
· 测试程序：内置丰富的测试程序库，支持用户自定义测试流程与参数。
· 数据分析：提供实时数据处理、图形显示(如I-V曲线、C-V曲线)、参数提取与统计分析功能。
· 报告生成：支持自定义报告模板，可生成包含测试数据、图形、分析结果的详细报告，并支持导出为PDF、Excel等格式。
四、方案优势
1. 高精度与稳定性：采用先进的测量技术与高精度元器件，确保测量结果的准确性与稳定性。
2. 多功能集成：集I-V、C-V等多种测试功能于一体，满足半导体器件的全面测试需求。
3. 灵活配置：可根据用户需求灵活配置测试模块与配件，实现定制化解决方案。
4. 高效便捷：提供友好的用户界面与自动化测试流程，降低操作难度，提高测试效率。
5. 专业支持：武汉伟思科技有限公司提供全面的技术支持与售后服务，确保用户无忧使用。
五、应用场景
1. 半导体研发：支持新材料、新工艺、新器件的研发与测试。
2. 生产质量控制：用于半导体器件生产过程中的在线检测与成品抽检。
3. 失效分析：对失效器件进行参数测试与分析，找出失效原因。
4. 教学与培训：适用于高校与培训机构的教学实验与技能培训。